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Verbindungshalbleiter

 

AIXTRONs Produktportfolio im Bereich Verbindungshalbleiter umfasst MOCVD Produktionsanlagen mit dem Planetary Reactor oder Showerhead-Konzept, Anlagen für Hochtemperatur-Anwendungen und Forschungsanlagen. Kunden können aus zahlreichen Anlagenkonfigurationen wählen.

 

 

Vorteile
  • geringer Verbrauch der Ausgangssubstanzen
  • hoher Durchsatz
  • anwenderfreundliche Bedienung
  • Herstellung homogener Materialstrukturen
  • hohe Ausbeute
  • scharfe Schichtübergänge
  • erstklassige Reproduzierbarkeit der hergestellten Materialien.

Der Begriff Planetary Reactor® ist ein eingetragenes Warenzeichen.

 

 

 

 
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